誘電体コート


誘電体膜のコーティングにより光学特性を与えます。
　
●用途  
　反射防止膜
　(シングルコート、マルチコート、
　 Uコート、Ｖコート)

 　　反射膜
　ビームスプリッター
　ダイクロイックミラー
　偏光ビームスプリッター
   
●蒸着物質  
　SiO2（２酸化けい素）
　TiO2（２酸化チタン）
　HfO2（酸化ハフニウム）
　Ta2O5（５酸化タンタル）
　Al2O3（酸化アルミニウム）

　Cr2O3（酸化第２クロム）
　MgF2（ふっ化マグネシウム）
　MgO（酸化マグネシウム）
　ZｒO2（酸化ジルコニウム）

　


薄膜形成装置

昭和真空社製薄膜形成装置		 薄膜

ビームスプリッター、反射膜